真空薄膜电阻测试仪

　（1 1 ）项目负责人：

　李俊生（）

　（2 2 ）简要介绍：

　目前，薄膜电阻的测试方法是四探针法，而在真空变温状态中，测试薄膜电阻的仪器是一个空白。本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种真空薄膜电阻测试仪，能在真空变温状态中测试薄膜电阻。

　（3 3 ）技术简介：

　本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：由玻璃罩、四探针组件、加热器、电学组合箱、气压表、底座和真空泵组成，其特征是：底座上有玻璃罩和气压表，在玻璃罩内有四探针组件和加热器，电学组合箱和底座相连，真空泵和和底座相连。由于采用上述技术方案，本实用新型所具有的优点和积极效果是：测量精度高，操作简单。

　（4 4 ）产业化或推广情况：

　本发明市场广阔。本发明是授权实用新型专利（专利号：.X）。合作方式为：技术转让；技术转让费：面议。